LOGOSOL LPA26-3-V23P1-S23-V500P-NE 獨(dú)立晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

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Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器獨(dú)立式,LPA,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于200mm晶圓,減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，

適用于200mm晶圓,對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板,

接觸區(qū)：邊緣接觸，接觸寬度為1mm,減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達(dá)6mm）

LPA26-3

創(chuàng)新、高性能、一體化設(shè)計(jì)消除了

外部控制器和互連電纜，同時(shí)進(jìn)行維護(hù)

兼容性下降

由超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，平穩(wěn)、瞬時(shí)

回應(yīng)

先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明，

半透明和不透明物體，無(wú)機(jī)械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實(shí)現(xiàn)與的兼容性和接口

多種半導(dǎo)體平臺(tái)

典型的對(duì)齊周期時(shí)間小于四秒，有助于

實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

LS-182AP是一款單軸運(yùn)動(dòng)控制器

為應(yīng)用而設(shè)計(jì)的集成伺服放大器

使用無(wú)刷（AC）、有刷換向（DC）和

松下A或S系列電機(jī)，最高1.5馬力。   

在絕對(duì)定位模式下，電機(jī)位置可以

使用模擬傳感器（電位計(jì)）進(jìn)行控制。  

最多可控制31個(gè)智能伺服驅(qū)動(dòng)器

通過(guò)多點(diǎn)全雙工RS-485網(wǎng)絡(luò)

分布式運(yùn)動(dòng)控制環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)

RJ-45連接器和商用電纜

用于模塊的菊花鏈。 

LS-182AP配備了各種安全功能

例如電機(jī)的短路保護(hù)，以及

控制器，超行程限位開(kāi)關(guān)輸入，緊急

停止輸入、過(guò)壓和欠壓停機(jī)。這個(gè)

最大電機(jī)輸出電流和過(guò)載時(shí)間

可以設(shè)置。