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Logosol 晶圓處理LPA38-3-V40E2 技術參數

更新時間:2026-08-19   點擊次數:29次

Logosol晶圓處理平臺包括各種產品和服務,這些產品和服務源于30多年的半導體自動化經驗。該技術涵蓋了從硬件、軟件和機械設計到制造、集成和應用工程的各個方面。該公司與晶圓搬運機器人和預對準器相關的設計解決了半導體晶圓廠中需要直接更換傳統產品的應用,以及OEM制造商在新開發的資本設備中進行的自動化材料搬運。這些產品線采用Logosol 擁有和控制的技術,包括運動控制電子設備、晶圓處理固件、軟件工具、實用程序和機械設計。整個技術范圍的可用性實現了 水平的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。

機器人許可

Logosol長期以來一直將其專有的晶圓處理自動化技術授權給各種實體。這些產品包括各種各樣的機器人尺寸和手臂配置,作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分。被許可方受益于該公司在半導體自動化領域的廣泛專業知識、經過驗證的產品和解決方案,以及30多年的專業知識。我們公司提供全面且高度可定制的統一技術,涵蓋您項目的各個方面,從機械設計到運動控制電子設備、固件、軟件工具和實用程序。無論您需要簡單還是復雜的解決方案,我們都可以定制我們的技術以滿足您的特定要求。您將 控制您的項目,而無需依賴第三方添加。我們的技術設計靈活、可擴展、可靠,確保高性能和高質量標準。該公司不僅提供制造許可證和文件,還提供構建整個產品所需的機器人控制器、電源和特定電子模塊。此外,Logosol提供 的晶圓預對準器,可與所有獲得許可的晶圓搬運機器人無縫集成。

機器人控制器

LRC-x31g3是三軸、四軸和五軸機器人控制器,帶有集成CPU板和功率放大器,專為需要精確控制旋轉或線性無刷電機的應用而設計。它們可以用作內置或外部控制器。LRC-x31g3通過主機RS-232或10/100 Base-T以太網接口進行控制。使用Logosol分布式控制網絡擴展接口可以無縫連接其他外部設備。LRC-x31g3配備了各種安全功能,如輸出和電機短路保護、欠壓停機和編碼器存在控制、智能停止功能,以避免機器外部停止或電源斷開時機器人手臂掉落。先進的運動控制技術支持高分辨率編碼器,可實現 的多軸軌跡生成。硬件輔助的位置鎖定提高了用于動態晶圓對齊的精度。

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運動控制框架

MCL5是Logosol專有運動控制軟件包的第五代,它提供了一種特定于領域的編程語言和一個多任務實時解釋器。這是一個專門用于機器人控制應用程序設計的編程框架。MCL5可執行文件包括運動控制器和I/O模塊的集成、各種機器人運動學的實現、對復雜軌跡運動的支持以及系統完整性的監控。該可執行文件還包括一個實時多任務腳本解釋器。它允許設計特定于應用程序的腳本,可用于協調機器人運動的順序并實現自定義主機通信協議。腳本語言由一組保留字定義,其表達式語法類似于C編程語言中的表達式語法。


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